电感耦合等离子体质谱技术(Inductively Coupled Plasma-Mass Spectroscopy,ICP-MS)是一种具有高灵敏度、宽线性范围、高准确度、高精密度和快速分析等优点的无机元素分析技术,在岩石矿物成分分析中应用ICP-MS检测技术,能够高效、高精度的对岩石金属成分进行检测。通过对电感耦合等离子质谱法在岩石矿物金属成分分析中的应用成果进行汇总分析,检出限最低可达到0.003 ng/g,精密度在0.3%~8.9%,经国家标准物质验证,测定值和标称值基本相近。相较于石墨炉原子吸收光谱法等方法,ICP-MS测定岩石矿物中金属成分线性范围更宽、测定速度更快、重现性更好,在进行大批量样品或者含量范围大的样品检测时可以提高检测效率和准确性。