氟元素作为超轻元素,存在荧光产额低且易被空气中的氮气和氧气吸收的问题。利用传统能量色散X射线荧光光谱法对其激发效率低、连续谱线的散射线背景干扰大,难以实现氟元素的检测。本工作称取适量经破碎、研磨至粒度不大于63μm的萤石样品制备成粉末压片,采用Ag靶单色化激发-能量色散X射线荧光光谱法测定其中氟元素含量。在仪器检测条件方面,该方法选择Ag靶单色化光源,用Ge(111)双曲面弯晶先将Ag靶X射线管发射的Ag:Lα(2.98 ke V)特征辐射进行单色化聚焦衍射,显著提升了氟元素的激发效率,再使用全谱拟合基本参数法软件进行基体效应和光谱重叠干扰校正。为能量色散X射线荧光光谱法准确测定氟元素提供了有效策略,同时利用氢气吹扫光路,有效降低了光路内气体对X射线的吸收与散射效应,从而提升检测灵敏度与结果准确性。在样品前处理制备方面,重点考察了分析试样粒度、压片厚度及压力对检测结果的影响,给出了样品粒度不大于63μm的3 g分析试样在294 k N压力条件压制成片为最佳制样条件。该方法可定量分析萤石中氟含量。为准确测定氟含量,对萤石中其他常量及微量元素进行测量条件选择,各元素其检出限为0.00015%~0.28%。精密度实验表明,不同氟含量样品的RSD为0.57%~2.3%。选择有证标准物质标示值或其他标准分析方法检测结果进行t检验,给定显著性水平α=0.05,根据v=n-1,本方法检测标准物质中氟含量,t 0.975(6)=2.45,该检验方法合理,与标准值结果无显著性差异。经实验表明,采用单波长激发能量色散X射线荧光光谱法定量分析萤石中氟含量,检出限低、精密度良好、正确度高,该方法满足分析要求,可开展快速分析检测。