【研究目的】高纯石英是国家新兴产业发展中重要的战略性矿产资源,其石英制品广泛运用于光伏、电子信息、半导体等行业。当前我国4N8级以上高纯石英砂(SiO₂纯度≥99.998%)主要依赖进口,亟需加强国产高品位高纯石英矿床的勘查评价与资源开发。通过微区原位分析技术可快速筛选潜在的高纯石英矿,以提升高纯石英资源评价工作效率。【研究方法】通过搜集公开文献并整合前人研究成果,归纳目前用于分析石英微区原位的一些方法技术,从技术进展、方法局限性及未来发展方向等维度,对石英微区原位分析技术的研究现状与发展趋势进行综合评述。【研究结果】结果表明常用石英微区原位分析方法有三种:LA-ICP-MS、EPMA、SIMS。LA-ICP-MS检测限低、精确度高,可同时检测多种微量元素,但空间分辨率低。EPMA具有高空间分辨率、无损检测等优点,而检测限较高。存在较多误差因素:二次荧光、韧致辐射、束流诱导等。SIMS检测限低,灵敏度高,但基体效应强,成本较高,没有可广泛使用的石英标样。【结论】不同分析方法各有优缺点,通过多方法协同分析可有效提升对石英晶格杂质的分析精度,在高纯石英资源评价中具有较大的应用前景。未来应重点加强高纯石英微区原位分析技术研发,如标准物质研发、降低检测限、提高分析精确度等,以期从晶格杂质角度完善高纯石英矿评价体系。