石英晶振是5G技术~([1])中最核心的电子零部件。5G技术的精准性以及高效性对于提供高端基准时钟信号的石英晶振来说,普通的石英晶振已经无法满足5G技术的需求,石英晶振正朝着高频化和小型化方向发展。随着石英晶振产品的频率越来越高,环境中水汽、金属杂质和油脂等对石英晶片频率的影响越来越大,同时它们对石英晶振产品的寿命以及频率稳定影响也越来越大。因此控制制造环境中的洁净度以及增加高温烘烤工艺对于半自动化的石英晶振行业生产高频石英谐振器来说变得越来越重要。