石英半球谐振子精密加工技术探讨

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单位北京航天控制仪器研究所;
来源导航与控制
出版年2019
期号02
摘要
半球谐振陀螺是一种高精度、高可靠性、长寿命的新型固体振动陀螺,应用前景广阔。作为半球谐振陀螺的核心零件,石英半球谐振子壁薄、形状复杂、对加工精度要求高、制造难度大,而这些因素是制约半球谐振陀螺研制的主要瓶颈。结合半球谐振陀螺的技术发展,分析了半球谐振陀螺的结构类型和特点,介绍了石英半球谐振子的粗磨成型、精密磨削、研磨抛光、化学腐蚀、质量调平、表面镀膜等加工方法及研究进展,提出了未来半球谐振陀螺的研究重点和建议。

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