对激光加工石英玻璃精密划线工艺进行了实验研究,探讨了不同工艺参数对加工效果的影响。使用1.06μm红外皮秒激光器作为光源,对厚度为0.4mm的JGS1-1远紫外石英光学玻璃薄片进行激光划线切割,在加工速度700mm/s时,获得样品正面崩边11.08μm,背面崩边7.610μm,侧面粗糙度为4μm的加工效果。结合实际加工要求,利用控制变量法分析了光源、占空比、点间距及聚焦光斑等工艺参数对加工效果的影响,得到一组最佳工艺参数。