石英微机械陀螺敏感芯片的抗振动分析与改进

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单位中国电子科技集团公司第二十六研究所;重庆市固态惯性技术企业工程技术研究中心;重庆市固态惯性技术工程实验室;
来源压电与声光
出版年2015
期号04
摘要
石英微机械陀螺是振动惯性器件,而陀螺敏感芯片结构的抗振动能力会直接影响陀螺的性能。由于工作环境的振动会对陀螺的性能产生一定的影响,因此需提高陀螺敏感芯片结构的抗振动能力。该文利用有限元仿真软件对敏感芯片结构进行随机振动仿真分析,通过对敏感芯片结构的优化,提高了陀螺的抗振动能力。

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