采用ICP601型刻蚀机,对石英玻璃进行刻蚀,结果表明,随着气压增大,刻蚀速率增大,0.5 Pa时,刻蚀速率达到峰值50 nm/min,而后随着气压的增大,刻蚀速率降低。0.5 Pa气压下的石英玻璃微槽底部平直,"长草现象"逐步消失。随着功率的增大,刻蚀速率变快。通过不同玻璃材料的刻蚀,可以看出,在采用SF_6刻蚀剂的情况下,K9玻璃的刻蚀速率大于石英玻璃的刻蚀速率,GG17耐高温玻璃的刻蚀速率小于石英玻璃的刻蚀速率。本研究可为玻璃微器件制备提供工艺参考。