针对熔石英表面划痕诱导激光损伤问题进行了研究。通过抛光和刻划获得的同一压头不同正压力下划痕样本的微观形貌,激光损伤测试结果获得不同压力划擦形成的划痕宽度与其激光损伤阈值关系,并结合实验结果进行划痕对电场的调制仿真,揭示了划痕形貌诱导激光损伤的特性。