为研究石英玻璃的机械振动能量损耗特性,以石英半球谐振子为实验对象,考察了铣磨、抛光、刻蚀和退火对石英玻璃机械振动能量损耗大小的影响,并分析了其作用机理。研究结果表明:对于采用机械加工成型的石英玻璃,表面损耗占主导作用,亚表面损伤是造成表面损耗的主要原因;退火可以消除机械应力,降低石英玻璃的"假想温度",改善石英玻璃的结构稳定性,减小本征损耗。