为建立完善的熔石英元件吸收缺陷检测体系,有效提升熔石英元件的抗激光损伤阈值,设计了一套熔石英损伤特性原位测量装置,包括光热扫描测量与拉曼光谱测量两部分。实验表明,该装置不仅可以对熔石英样品的定点损伤特性进行测量,同时可以通过二维光热扫描测出样品的吸收特性和缺陷分布。此外,通过该装置的显微拉曼光谱测量模块可实现在辐照过程中对缺陷所致拉曼带的原位测量,获取激光辐照过程熔石英材料改性的信息,对有效控制和评价熔石英激光损伤特性具有重要意义。