结构弛豫是影响玻璃结构与性能稳定性的本质原因。借助傅里叶变换红外光谱仪,测试石英玻璃的体相与表面假想温度Tf值,研究玻璃结构及缺陷对其结构弛豫过程的影响。结果表明,体相结构中,气泡、颗粒、条纹等宏观缺陷,以及羟基、碱性金属离子等微观缺陷是促进石英玻璃结构弛豫的重要内在因素;原始Tf值高的样品弛豫速度更快。此外,表面结构缺陷显著加快了表面弛豫速度。