为消除石英玻璃高温熔制过程中产生的结构缺陷,采用高温均化处理石英玻璃,并借助偏光显微镜、应力仪、傅里叶变换红外光谱仪测试玻璃结构。研究结果表明,高温均化过程中,石英玻璃中10 mm以上的大气泡和50μm以下的小气泡,以及尺寸较小的颗粒和条纹可基本消除;同时,均化有利于提高羟基分布的均匀性,从而提高石英玻璃结构均匀性与性能稳定性。