研究了以回收提纯的太阳电池硅片线锯屑粉与粗粒石英粉为原料直接用N2气体氮化合成氮氧化硅(Si_2N_2O)的工艺条件,分析原料配比和反应温度对氮氧化合成产物的影响。结果表明,采用这种线锯硅屑粉为原料,可以在1450℃下4 h常压纯氮合成条件下得到氮氧化硅产物;当原料摩尔比n(Si)/n(SiO_2)=1.5时,所得产物在XRD检测能力范围显示为纯Si_2N_2O相,不含氮化硅副产物相。从反应相对增重量分析推测,反应体系中可能包含SiO_2在高温和低氧分压条件下的转变为Si_2N_2O的过程。