大尺寸石英玻璃在航空航天和核能领域有着广泛的应用,但是大尺寸石英玻璃在冷却过程中会由于较大的温差产生较高的热应力,这会导致石英玻璃内部或者表面产生裂缝并且降低石英玻璃的质量。对这个过程的精确控制能够降低过程热应力。本文中研究了石英玻璃冷却动态过程温度和应力的变化情况,考虑加热器功率、位置和样品尺寸的影响,在加快冷却速率的前提下降低石英玻璃的过程应力,优化石英玻璃的冷却过程。