石英玻璃具有的优异性能被广泛应用在多个领域,但是由于其自身具有很高的抗压强度及抗剪强度,导致在机械加工时,容易产生脆性断裂和加工缺陷。系统地分析了单颗粒磨粒的运动状态及脆性/塑性的去除率模型;通过单因素实验来验证加工参数(主轴转速,进给速度,切削深度,超声振动振幅)对石英玻璃表面粗糙度和表面形貌的影响;同时分析了加工参数对磨削力变化的影响。并且对比分析了微磨棒在超声振动加工过程中的磨损状态,发现磨棒在磨削加工中有三种状态:初始磨损状态、稳定磨损状态、急剧磨损状态,当磨棒处于急剧磨损状态时,会对加工表面产生严重的影响并且导致切削力和切削温度的增大。结果表明在一定程度上对超声振动磨削加工具有借鉴意义。