介绍了一种以低能γ射线反散射为方法原理的石英坩埚厚度仪,仪器以低功耗单片机P89V51RD2为智能仪表核心,使用241Am作为γ射线源,探测器采用NaI(TI)闪烁探测器。精密机械装置带动探测器在石英坩埚表面移动,实现自动测量。该测量仪测量具有精度高、操作简单、轻便且可随身携带等特点,直接贴在坩埚上进行测量,5s内给出测量结果。