研究不同参数退火处理的熔石英表面损伤修复点再次损伤及损伤增长时的形貌和损伤增长率的差异,同时与未退火的基底及修复点的损伤增长行为对比.结果表明:未退火的修复点再次损伤后,损伤点周围的裂纹会在应力的作用下继续扩展,导致更加严重、尺寸更大的损伤点;当退火处理将修复点周围应力导致的光程差控制在25 nm左右时,虽损伤增长速率较快,但可有效抑制裂纹扩展.同时研究结果也表明只要退火过程能将修复点周围应力导致的光程差控制在10 nm以下,其损伤增长率与基底的损伤增长率没有明显差异,从而可以有效控制修复点的损伤增长速率.研究结果可为分析应力对修复点损伤增长的影响、指导退火参数的优化提供参考.