石英微机械陀螺双轴减振设计摘要
石英微机械陀螺是一种应用广泛的惯性测量元器件,对于常见的双轴微机械陀螺,在使用过程中需要同时测量两个轴向的角速度,但各敏感元器件间存在振动干扰。因此,需要减振结构降低这种干扰,若采用单轴减振结构,则每个敏感元器件都需要减振结构,导致双轴微机械陀螺的体积较大,为解决这一问题,设计了一种石英微机械陀螺双轴减振装置,采用新型减振体和减振橡胶垫环形分布的稳固结构,且通过有限元ANSYS软件仿真优化。结果表明,石英微机械减振装置可有效避开石英微机械敏感元器件的工作频率,减振效果良好,可达97%,减少了外界噪声,提高了石英微机械双轴陀螺的性能。
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