为了给我国高纯石英技术发展提供测试分析技术支撑,以自主研制成功的4N高纯石英为实验样品,对高纯石英质量的ICP检测分析方法进行深入研究,结果表明:由于试样重量、试剂组合、试剂用量、试剂纯度等因素都能够明显地影响ICP检测效果,因此高纯石英质量ICP检测技术的关键在于试样消解和溶矿条件的严格控制,其优化条件是:高纯石英试样重量≥2 000mg;试剂纯度为高纯级(MOS或BV-Ⅲ),试剂组合为HF+HNO3;HF用量为25mL;浓HNO3分3次使用,总用量≥5mL。另外,为了避免铁质污染,不能使用钢筛筛分和制备样品;高纯石英的消解和溶矿若能在超净实验室条件下进行,对减少检测误差可能是有利的。