研究了CO2激光局域辐照对熔石英损伤特性的影响,发现当辐照中心温度较低时(1139K),辐照对损伤阈值没有明显影响,但辐照中心温度较高时(1638K),辐照对损伤阈值有明显的影响,损伤阈值随距离辐照中心间距的增大而减小,在残余应力产生光程差最大处附近,损伤阈值降到最小,随着与辐照中心间距的进一步增加,损伤阈值略有上升.对导致此现象的原因做了分析.由于残余应力的存在,在辐照中心发生再损伤产生的裂纹后,裂纹先沿径向扩展,在残余应力产生光程差最大处附近,裂纹转而向切向扩展,这可能与径向和环向张应力随半径的变化有关.在采用热处理炉退火消除残余应力时,必须注意元件的洁净处理,否则退火会出现析晶现象,对损伤阈值和透射率造成不良影响.