研究了石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺。在氮化硅浆料中加入一定量固体和液体粘结剂,使氮化硅粉强有力地吸附在坩埚内壁,喷涂完成后在70~80℃保温2h直接装入硅料,免去了传统涂层制备工艺中坩埚需在1050℃温度下烧结6~7h的工艺过程。此工艺可缩短晶锭的生产周期,提高生产效率,降低生产成本。