石英玻璃的微小斜孔加工技术研究摘要
针对带孔三棱镜的技术特点,提出了孔的三阶段加工法,采用先孔后面的工艺流程,进行了带孔三棱镜的加工试验研究。试验结果表明,基于该工艺技术加工出了合格工件,其中孔的内表面的表面粗糙度为Ra0.134μm,孔口崩边尺寸<0.3mm×0.4mm,孔的直线度为0.008mm,解决了高精度微小斜孔加工的难题,具有极高的推广价值。
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