新型石英振梁加速度计机械耦合研究摘要
机械耦合效应严重制约了一体差动式振梁加速度的精度提高。为了降低机械耦合效应,提高加速度测量精度,设计了一种新型一体差动式石英振梁加速度计敏感头。首先,介绍了机械耦合效应所引起的"锁频"问题,建立了机械耦合效应数学建模。其次,依据机械耦合数学模型,对加速度计敏感结构进行优化。最后,通过有限元方法进行仿真,验证了理论设计的合理性。实验证明:新型一体差动式石英振梁加速度计具有低机械耦合效应、高灵敏度、小型化等优点。
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