使用红外透过差示光谱法,对低羟基石英基片上的有机物吸收峰进行了定量测量表征。从理论上研究了该方法的可行性和特点,并初步检验了该方法的灵敏度。利用这种手段采集了大量真空精密干冰清洗石英基片的数据,统计发现这些数据能够体现一定的规律性:干冰清洗有机物的效果与原始污染状况紧密联系,某一时刻污染物越多,清洗效率越高;无机物或大颗粒的混入会降低有机物清洗效率;表面形态也能够影响清洗效率。这些成果证明了该定量表征方法的正确性和实用性。实验过程和所得结论表明,将清洗初始状态控制在相对一致的状态下,是精密干冰清洗定量研究和工程化参数优化的一个重要因素。