采用电感耦合原理,在大气压条件下激发气体产生等离子体,通过等离子体中的活性粒子与材料表面原子发生化学反应,生成易挥发的气体,实现熔石英的稳定去除。大气等离子体抛光熔石英的去除函数为高斯型,在一定参数下,去除函数的形状与等离子体炬到工件表面的靶距有关,靶距越近,等离子体中的活性粒子数越多,材料去除率越高,反应在加工轨迹上就是去除深度越大,半峰全值越大。