抛光石英玻璃亚表面缺陷研究

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作者杜秀蓉 ; 张晓强 ; 王慧 ; 孙元成 ; 宋学富 ; 隋镁深
单位中国建筑材料科学研究总院;中建材衢州金格兰石英有限公司;
关键词石英玻璃 ; 亚表面缺陷 ; 研磨抛光 ; 刻蚀
来源硅酸盐通报
出版年2017
期号S1
摘要
针对抛光石英玻璃表面经氢氟酸溶液刻蚀后,出现麻点、划痕等缺陷;本文对出现的亚表面缺陷进行了分类,并研究了各种缺陷经氢氟酸溶液刻蚀后形态变化;结合石英玻璃加工过程对各类亚表缺陷的成因进行了分析。

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