通过对光学石英玻璃用抛光液的颗粒、形貌、成分对抛光液悬浮性及抛光性能的影响的研究。结果表明:光学石英玻璃的机械强度高,可加工性能差,光学石英玻璃用抛光液为硬度较高的氧化铈为主要磨料、二氧化硅为辅助磨料的掺杂型复合磨料抛光液。二氧化硅的加入提高了抛光液的悬浮性能,作为光学石英玻璃最后一道抛光工序用抛光液,其磨粒平均粒径为60nm的氧化铈颗粒,最大粒径小于100nm,二氧化硅的平均粒径为20nm,达到了光学石英玻璃抛光工序标准和要求。