本文采用酸蚀刻结合超声波清洗的方式对石英元件表面进行精密洁净清洗,利用光学显微镜观测了英元件清洗前后的表面状态,利用暗场成像系统监测了元件整体清洗情况,利用表面颗粒计数器、接触角测量仪、荧光光谱仪和红外光谱仪检验了元件清洗效果,通过实验研究,对石英元件精密清洗工艺进行了定型。