考虑材料系数修正的石英晶体谐振器研究

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单位宁波职业技术学院建工学院;宁波大学机械与力学学院;
来源固体电子学研究与进展
出版年2018
期号06
摘要
基于Mindlin一阶板方程,对石英晶体板高频振动的零阶、一阶应力和电势进行了释放,获得了经修正的石英晶体材料系数。通过数值计算,绘制了更加精确的石英晶体板高频振动的色散关系和频谱关系。计算结果表明,综合考虑零阶、一阶应力和电势释放的频率漂移比只考虑零阶应力释放的频率漂移较小,这更符合谐振器频率稳定性要求。提出的修正方法可以推广到石英晶体谐振器的泛音振动,为石英晶体谐振器的精确设计和分析提供有效指导。

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