低膨胀石英玻璃(Low-expansion quartz glass)是指掺有低膨胀氧化物的石英玻璃,其热膨胀系数比一般的石英玻璃低一个或两个数量级,基于这种特质,低膨胀石英玻璃受到了许多人的关注。然而,随着高新技术的快速发展,低膨胀石英玻璃的性能已不能满足新技术领域的需求,直到1968年研制出SiO_2-TiO_2石英玻璃。相较于其他低膨胀石英玻璃,SiO_2-TiO_2石英玻璃的热膨胀系数更低,在一定温度范围内甚至可以做到零膨胀或负膨胀,因此掺钛石英玻璃又被称为超低膨胀(Ultra low expansion, ULE)石英玻璃。SiO_2-TiO_2石英玻璃凭借优秀的性能被广泛应用于半导体、航空航天、电子、光学等领域。SiO_2-TiO_2石英玻璃通常有以下几种制备方法——溶胶-凝胶法、化学气相沉积法、气相轴向沉积法和等离子体化学气相沉积法等,其中,火焰水解沉积法使用较为广泛,具有成熟的工业应用。