在SF_6气体绝缘高压气体电力系统中,H_2O是一种很难去除且有危害的杂质,它不仅会降低绝缘性能,还会产生酸性气体分解物,腐蚀破坏电气设备,造成SF_6气体泄漏,对人身和环境造成严重的安全隐患。该文利用近红外商用分布式反馈(DFB)二极管激光器,研制了一种在SF_6缓冲气体中,基于石英增强光声光谱(QEPAS)技术的亚ppm级水汽传感器系统。由于SF_6的物理常数与N_2或空气有很大差异,裸石英音叉(QTF)的谐振频率和Q因子分别为32 763 Hz和4173。通过对声微谐振器(AmR)参数、气体压力和调制深度进行实验优化,检测时间为1 s,检测限为0.49 ppm,为电力系统安全监测提供了有力的预防工具。