为了解决表面贴装器件(SMD)型压电石英音叉晶体的振动阻抗过大的问题,提出了一种带有阶梯沟槽结构的Z切压电石英音叉晶体谐振器。首先,从振动原理上结合压电石英晶体各向异性材料因腐蚀工艺导致结构的不对称性解释阻抗过大的机理;然后,提出一种新结构弥补因腐蚀工艺带来音叉晶体结构不对称的问题。基于有限元仿真计算出音叉晶体谐振器的振动分布情况,通过仿真分析发现新型结构有效降低音叉双叉振梁面内弯曲的不对称性,改善了音叉晶体谐振器的振动特性,降低了器件的阻抗。