基于石英晶体微天平的质量型湿敏传感器研究进展

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单位中国石油大学(华东)控制科学与工程学院;中国石油大学(华东)机电工程学院;
来源电子元件与材料
出版年2022
期号08
摘要
石英晶体微天平(Quartz Crystal Microbalance, QCM)作为一种质量敏感型的传感器,具有高精度(可达纳克级)、实时数字频率输出、操作简单等优点,近年来被广泛应用于湿度监测领域。国内外的众多研究者们通过不断革新QCM湿敏传感材料,使得QCM湿敏传感器性能得到大幅提升。本文分析了QCM的结构和工作原理,并阐述了近几年基于二维材料、金属氧化物和聚合物等湿敏材料研制的高灵敏QCM湿度传感器及其在呼吸监测、疾病诊断、皮肤湿度和物体含水率监测方面的应用研究进展。

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