通过液相浸渍法改性取代材料表面的亲水性硅羟基,形成表面具有疏水性硅甲基的石英纤维复合材料,通过调整反应时间及对防潮性能的分析,确定了最佳工艺。并对其高温无氧条件下的残碳对材料介电性能的影响进行了研究。利用红外光谱分析(FT-IR)、扫描电镜(SEM)对材料进行了表征,采用短路波导法对材料Ku波段的介电性能进行数据分析。研究结果表明,改性后的石英纤维复合材料具有优异的防潮性能,吸潮率从改性前的6%降低至0.4%以下,且改性后材料在不高于1400℃的高温无氧条件下的介电常数变化小于0.05,损耗角正切小于0.008。