岩石的微区成分特征是精细化反演岩石演化的重要依据,而常规的电子探针面扫描分析方法无法提供面扫描区域的定量分析结果。本文使用矿物分布相对均匀的代表性岩石样品开展了岩石薄片的面扫描和矿物的定量分析。通过对常规测试的主量元素的面扫描进行图像校正,并利用ZAF校正后的点分析数据与面扫描图像的灰度值进行最小二乘法曲线拟合的方式,实现了X射线强度与质量浓度的转换。对比全岩X射线荧光光谱(XRF)测试数据,电子探针面扫描定量化方法的主量元素SiO_2、CaO、FeO、Al_2O_3、TiO_2的相对误差在10%以内,且相对标准偏差(RSD)不高于12%,具有良好的一致性;MgO和Na_2O的相对误差与标准偏差略大,可通过多次测量加以改善;K_2O由于缺乏富钾硅酸盐矿物的定量分析数据,导致结果不精确。研究表明,在仪器测试条件良好的情况下使用电子探针定量数据校正面扫描图像,可对矿物分布较均匀的岩石开展微区成分分析,给出估计结果,并通过多个切面的多次测量等方式,减少来自矿物形态、粒径大小、分布的影响。