气体流量对石英增强型光声光谱检测精度的影响摘要
石英增强型光声光谱(quartz enhanced photoacoustic spectroscopy, QEPAS)检测技术在痕量气体浓度检测方面具有灵敏度高、可靠性好、系统体积小等优势。以二氧化碳为目标气体,深入研究不同气体流量对QEPAS检测系统精度的影响。通过Fluent ANSYS仿真软件对气体流场进行分析,完成对不同流量情况下气室内压强和流速的仿真。通过基于QEPAS的CO_2气体检测系统的实验,研究了气室压强对气体浓度检测的影响。实验结果表明通过控制气体流量使得气室内的压强为1.08×10~(-1)~1.48×10~(-1) Pa时,检测信号与气体浓度之间线性关系良好,相关系数R=0.999 71,系统相对误差为0.5%,系统检测下限为72×10~(-6) mL/m~3。
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