石墨烯场效应管传感器关键工艺虚拟仿真实验建设

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单位德州学院物理与电子信息学院;德州学院山东省生物物理重点实验室;
来源中国现代教育装备
出版年2021
期号15
摘要
科教融合,利用现代信息技术,把实验室高水平科研成果转化为虚拟仿真实验教学资源,开发了石墨烯场效应管传感器关键工艺虚拟仿真实验。该实验实现了甲烷气体生长为石墨烯、石墨烯演变为场效应管器件及最终实现传感功能等完整工艺流程,实验内容丰富,涉及多个学科的知识,有助于培养学生多学科交叉思维的意识和能力。

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