厚度评定是石墨烯相关材料领域的重要课题,原子力显微镜是测量纳米级厚度最直接的手段。由于测量过程中噪声和表面粗糙度等多种因素的影响,根据原子力显微镜形貌数据准确评定厚度仍存在困难。本文利用原子力显微镜测量云母基片上的氧化石墨烯形貌,采用直方图方法分析其厚度。通过对比分析基于区域和基于剖面线的直方图方法,揭示了影响直方图方法评定结果的因素。结果表明直方图方法可以为石墨烯相关材料厚度计量提供有效信息。