本文提出了一种基于石墨烯-硅波导的微环光电探测器。该器件采用全通型微环谐振器作为基本单元,通过优化基于石墨烯-硅波导微环谐振器的结构参数,以满足临界耦合状态需求,用于增强石墨烯与光的相互作用,并利用电子束光刻、等离子体刻蚀、石墨烯转移以及电子束蒸发等工艺制备基于石墨烯-硅波导的微环光电探测器。实验结果表明,当在偏置电压为-0.1 V时,探测器的最佳响应度R_p=12.5μA/W。