温度对石墨烯膜光纤F-P声压传感器灵敏度影响研究

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单位北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院;深圳北航新兴产业技术研究院;南方科技大学创新创业学院;
来源计测技术
出版年2020
期号01
摘要
石墨烯具有优异的机械、电学与光学等传感特性,有希望成为下一代可穿戴电子设备的功能敏感材料。石墨烯膜Fabry-Perot(F-P)声压传感器具有高灵敏度、小型化和抗电磁干扰等优点,但会受到温度漂移的影响。温度对传感器的影响主要体现在F-P腔长变化,引起工作点漂移,导致传感器光学灵敏度发生变化,以及改变石墨烯膜预应力。本文制备了石墨烯膜光纤F-P声压传感器探头,通过声压测试表明,温度改变了悬浮石墨烯膜的机械力学特性,在1 kHz处使其机械灵敏度由1.80 nm/Pa提高至2.44 nm/Pa。

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