降低石墨舟上下料机碎片率方法分析

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作者张海 ; 陈嘉荣
单位中国电子科技集团公司第二研究所;
关键词石墨舟上下料机 ; 碎片率 ; 定位 ; 精度
来源山西电子技术
出版年2019
期号03
摘要
针对石墨舟上下料机硅片传输的流程,分析产生碎片的部件、动作和原因,提出合理的改善方法,优化程序,并利用机器人和石墨舟检验吸盘和固定定位部件的安装精度,从而降低碎片率,提高设备运行的稳定性和良品率。

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