为了开发XPS技术对石墨烯粉体中的碳、氧元素含量进行定量测量的特性分析方法,本工作深入考察了表面污染物、仪器参数、扣背底方法等因素对测试结果的影响。为得到有较高分辨率和较好信噪比的XPS谱图,对于石墨烯粉体样品,建议通过能不超过50e V、氧元素结合能采集范围要优于528 eV-538 eV、保证信噪比大于10的采集时间和采集次数、选用Shirley或Smart方法扣背底。