在PERC(Passivated Emitter Rear Contact)电池的生产过程中,等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)的氮化硅(SiNx)薄膜是提高太阳能电池光电转换效率的关键。在石墨舟上下料机生产过程中,由于设备运行精度要求高,调试难度大,常会出现吸盘印、划伤等问题。同时,由于机械手插片不到位,再与工艺设备配合的过程中,还会造成放电高频,不仅影响良品率,对设备的产能也会出现不同程度的影响。本文通过分析机台产生的几种不良品,对六轴工业机器人的运行路径进行了算法优化,同时在外部加装了稳定装置,使得硅片与石墨舟进行更加紧密的贴合。通过后续试验证明,该方法可以有效提高产品的良品率,设备的稳定性也得以提升。