上海微系统所在层数可控石墨烯薄膜制备方面获进展摘要
<正>中国科学院上海微系统与信息技术研究所在层数可控石墨烯薄膜制备方面取得新进展。研究人员设计了Ni/Cu体系,并利用离子注入技术引入碳源,通过精确控制注入碳的剂量,成功实现了对石墨烯层数的调控。研究人员围绕石墨烯层数的控制问题,结合Ni和Cu在化学气相沉积(CVD)法中制备石墨烯
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