上海微系统所在层数可控石墨烯薄膜制备方面取得进展

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单位上海微系统与信息技术研究所;
来源人工晶体学报
出版年2015
期号07
摘要
<正>近期,中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室SOI材料课题组在层数可控石墨烯薄膜制备方面取得新进展。课题组设计了Ni/Cu体系,并利用离子注入技术引入碳源,通过精确控制注入碳的剂量,成功实现了对石墨烯层数的调控。石墨烯以其优异的电学性能、出众的热导率以及卓越的力学性能等被人们普遍认为是后硅CMOS时代延续摩尔定律的最有竞争力的电子材料,拥有广阔的应用前景。然而,针对特殊的应用需求必须对石墨烯的

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