上海微系统所成功研制1.5英寸石墨烯单晶晶圆

查看详情 浏览次数:1
单位上海微系统与信息技术研究所;
来源硅酸盐通报
出版年2015
期号S1
摘要
<正>铜表面催化生长是目前制备石墨烯薄膜的主要技术途径,但由于无法实现单核控制,因而制备的薄膜一般为多晶,且生长速度随着时间的推移逐渐变慢。此前铜衬底上制备的最大石墨烯单晶筹尺寸约为1 cm,且需要较长的生长时间。上海微系统所研究团队通过向具有一定溶碳能力的

@ 2023 版权所有 中国地质图书馆 (中国地质调查局地学文献中心)

京ICP备 05064591号 京公网安备11010802017129号

建议浏览器: 火狐、谷歌、微软 Edge、不支持 IE