针对光学元件存在体积大、带宽窄和损耗大的问题,提出一种适用于光电子集成电路的石墨烯波导结构。利用表面等离子体构成的波导结构能够突破衍射极限,可将光限制在亚波长范围内进行操控。同时石墨烯化学势的改变会影响波导的传输性能,实现波导的可调性,而不需要调整波导的几何形状。数值仿真表明,在工作波长1.55μm和化学势0.8eV情况下,基模的最小模式面积仅为0.003 4μm2,传播长度达到66.5μm。这种波导在纳米光子器件领域具有巨大的潜力。