单晶硅太阳能电池的表面反射率是影响其光电转换效率的重要因素之一,表面织构化对降低表面反射率有着重要作用。采用水合肼对单晶硅进行刻蚀,并采用不同氧化程度的氧化石墨烯作为碳催化剂对水合肼腐蚀体系进行催化,采用失重法、XRD、SEM和FTIR测试手段对反应产物进行表征。结果表明:氧化石墨烯的加入对水合肼体系起到了促进催化的效果,质量浓度为1 mg/m L的氧化石墨烯促进效果最好,单晶硅表面金字塔形貌最佳;不同还原态的氧化石墨烯促进效果不同,还原时间最短时表面金字塔形貌最佳;随着还原程度的增加,促进作用越来越小,当还原时间为7 h时,水合肼的各向异性消失,表现出各向同性的特性。