面向集成电路的大尺寸单晶石墨烯的可控制备方法

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作者王志阳
单位辽宁城市建设职业技术学院;
关键词集成电路 ; 大尺寸单晶石墨烯 ; 制备方法
来源中国设备工程
出版年2017
期号18
摘要
近些年来,由于人们生活水平在不断提高,电子产品已经被人们广泛应用到实际生活中。在集成电路中,大尺寸单晶石墨烯的制备具有至关重要的作用。因此,本文主要研究集成电路中大尺寸单晶石墨烯的可控制备方法。

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